發(fā)布時間：2023-02-20
真空法蘭用于活動連接部位，或用于真空系統(tǒng)可拆卸部位。因法蘭結(jié)合處的氣密性在真空中至關(guān)重要，所以在機械加工時的法蘭光潔度也需要著重考量，如果用顯微鏡去觀察法蘭，其表面上微小的高低起伏甚至凹痕或劃痕，是導(dǎo)致法蘭泄露的“罪魁禍首”，其漏率可達10-8Pa·L/s。所以，真空法蘭一般選用不銹鋼或低碳鋼，密封面要求光滑、無裂痕、避免發(fā)生漏氣。
真空法蘭的六種主要形式為：
1.金屬密封法蘭
金屬密封法蘭一般用于壓力低于10-7Pa的超高真空系統(tǒng)，要求密封材料耐200℃以上的高溫烘烤。常用的密封材料有鋁、銅、金等。
2.橡膠密封真空法蘭
普通橡膠密封真空法蘭廣泛用于高、中、低真空金屬系統(tǒng)中。如果用于超高真空系統(tǒng)，則需要用到另外形式的橡膠密封法蘭。
3.氟橡膠超高真空法蘭
氟橡膠超高真空法蘭，顧名思義可用于超高真空系統(tǒng)，它采用氟橡膠密封圈，與導(dǎo)管需要采用雙面焊接，并精加工，減少各類缺陷。
4.雙重橡膠密封法蘭
雙重橡膠密封法蘭主要用于避免橡膠材料的出氣和滲漏影響，以實現(xiàn)超高真空的獲得。通過中間冷卻槽冷凍橡膠或中間抽真空來達到降低橡膠出氣和減少滲漏的目的。
5.真空快卸法蘭
真空快卸法蘭主要用于高、中、低真空管路，又分夾緊型和擰緊型，通常用O型橡膠密封圈密封。
6.卡鉗真空法蘭
卡鉗真空法蘭同樣用于高、中、低真空的管路連接，形式上有卡鉗螺釘連接、卡鉗墊塊連接及卡鉗螺栓連接。
